電壓保持率是評(píng)估光刻膠在半導(dǎo)體制造中抗電荷積累能力的關(guān)鍵參數(shù)。本文系統(tǒng)介紹了VHR的定義、測(cè)試原理、標(biāo)準(zhǔn)方法、影響因素及其在工藝控制和材料篩選中的核心作用，為光刻工藝優(yōu)化提供理論依據(jù)。

一、 VHR 定義與重要性

電壓保持率 指光刻膠薄膜在施加直流電壓后，移除電壓源特定時(shí)間后殘余電壓與初始電壓的百分比：
VHR (%) = (V_remaining / V_initial) × 100%

核心價(jià)值：

1. 抗靜電損傷：高VHR膠體減少晶圓表面電荷積累，保護(hù)敏感器件（尤其柵氧）。

2. 套刻精度保障：電荷導(dǎo)致的靜電偏移直接影響光刻對(duì)準(zhǔn)精度。

3. 工藝穩(wěn)定性：VHR波動(dòng)反映材料批次差異或工藝異常（如烘烤不足）。

4. 材料篩選依據(jù)：量化評(píng)估不同配方或批次光刻膠的電學(xué)穩(wěn)定性。

檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì)證書

CMA認(rèn)證

檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì)認(rèn)定證書

證書編號(hào)：241520345370

有效期至：2030年4月15日

CNAS認(rèn)可

實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可證書

證書編號(hào)：CNAS L22006

有效期至：2030年12月1日

ISO認(rèn)證

質(zhì)量管理體系認(rèn)證證書

證書編號(hào)：ISO9001-2024001

有效期至：2027年12月31日

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