使用的檢測(cè)儀器和設(shè)備

針對(duì)不同檢測(cè)項(xiàng)目，常用的儀器包括： 1. 氣相色譜儀（GC）：配備熱導(dǎo)檢測(cè)器（TCD）或氦離子化檢測(cè)器（PDHID），用于分析主成分和雜質(zhì)氣體。 2. 露點(diǎn)儀或微量水分分析儀：采用電容法或冷鏡法測(cè)定水分含量。 3. 質(zhì)譜儀（MS）：用于痕量雜質(zhì)（ppb級(jí)）的定性定量分析。 4. 紅外光譜儀（IR）：檢測(cè)CO、CO₂等極性分子。 5. 氖氣純化系統(tǒng)：在檢測(cè)前對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理，避免交叉污染。

標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)方法和流程

檢測(cè)流程通常遵循以下步驟： 1. 采樣：使用經(jīng)過鈍化處理的不銹鋼或鎳基合金氣瓶采集樣品，避免吸附或反應(yīng)。 2. 儀器校準(zhǔn)：用標(biāo)準(zhǔn)氣體（如NIST可溯源標(biāo)氣）校準(zhǔn)GC、MS等設(shè)備。 3. 雜質(zhì)分離：通過色譜柱分離氖氣中的雜質(zhì)組分。 4. 定量分析：根據(jù)峰面積或質(zhì)譜信號(hào)計(jì)算雜質(zhì)濃度。 5. 水分測(cè)定：通過露點(diǎn)儀直接測(cè)量或間接換算。 6. 數(shù)據(jù)復(fù)核：比對(duì)多次測(cè)量結(jié)果，確保重復(fù)性和準(zhǔn)確性。

相關(guān)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范

主要參考的國(guó)際和國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)包括： 1. ISO 10198：高純氖氣的技術(shù)要求與檢測(cè)方法。 2. ASTM D6350：氣相色譜法測(cè)定氣體中雜質(zhì)。 3. GB/T 4844（中國(guó)）：純氖和高純氖的技術(shù)指標(biāo)。 4. SEMI C3.40：半導(dǎo)體行業(yè)用高純氖的標(biāo)準(zhǔn)。 這些標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了不同級(jí)別氖氣的允許雜質(zhì)限值及相應(yīng)的檢測(cè)方法。

檢測(cè)結(jié)果的評(píng)判標(biāo)準(zhǔn)

檢測(cè)結(jié)果的評(píng)判依據(jù)純度等級(jí)要求： 1. 工業(yè)級(jí)純氖（99.9%）：總雜質(zhì)≤1000 ppm，水分≤5 ppm。 2. 高純氖（99.999%）：?jiǎn)畏N雜質(zhì)≤1 ppm，水分≤0.5 ppm。 3. 超高純氖（99.9999%）：?jiǎn)畏N雜質(zhì)≤0.1 ppm，水分≤0.1 ppm。 若檢測(cè)結(jié)果超出限值，需排查采樣污染、儀器誤差或氣源問題，并重新測(cè)試。

檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì)證書

CMA認(rèn)證

檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì)認(rèn)定證書

證書編號(hào)：241520345370

有效期至：2030年4月15日

CNAS認(rèn)可

實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可證書

證書編號(hào)：CNAS L22006

有效期至：2030年12月1日

ISO認(rèn)證

質(zhì)量管理體系認(rèn)證證書

證書編號(hào)：ISO9001-2024001

有效期至：2027年12月31日

關(guān)于我們

部分儀器

合作客戶