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三甲基鋁檢測(cè)

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發(fā)布時(shí)間：2025-07-25 08:49:03 更新時(shí)間：2025-11-04 08:48:40

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作者：中科光析科學(xué)技術(shù)研究所檢測(cè)中心

　　在化合物半導(dǎo)體薄膜原材料的生產(chǎn)中，電子級(jí)三甲基鋁主要是作為化合物半導(dǎo)體沉積的鋁源。因此電子級(jí)三甲基鋁能夠用于生產(chǎn)發(fā)光二極管、激光二極管、晶體管高性能和高效率太陽能電池等電子產(chǎn)品。當(dāng)然，三甲基鋁還可以用于硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化學(xué)氣相沉積過程中。三甲基鋁是易燃液體，遇到空氣就會(huì)自然，而且遇水容易產(chǎn)生爆炸性反應(yīng)，對(duì)人體有毒有害，中析研究所檢驗(yàn)作為專業(yè)電子化學(xué)品檢測(cè)第三方機(jī)構(gòu)，可提供電子級(jí)三甲基鋁的檢測(cè)服務(wù)。

電子級(jí)三甲基鋁測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)及項(xiàng)目

　　電子級(jí)三甲基鋁測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)為國(guó)家建議標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)名稱為GB/T36653-2018《電子級(jí)三甲基鋁》。GB/T36653-2018對(duì)三甲基鋁的檢驗(yàn)規(guī)定基本上能夠歸為三個(gè)項(xiàng)目，就是三甲基鋁的純度、痕量元素金屬元素的檢測(cè)、氧和有機(jī)質(zhì)的檢測(cè)。其中痕量元素金屬元素包括了銀、鋁、砷、硼、鋇、鈹、鉍、鈣、鎘、鈷、鉻、銅、鐵、鍺、汞、鎂、錳、鎳、鉛、硫、銻、硅、錫、鍶、鈦、釩、鋅等。而三甲基鋁的純度規(guī)定精確到99.99995%的級(jí)別。

三甲基鋁檢測(cè)

電子級(jí)三甲基鋁檢驗(yàn)方法

　　電子級(jí)三甲基鋁的純度檢驗(yàn)是通過排除法來計(jì)算的，就是通過排除硅元素、銅元素、鎂元素、鋅元素、鐵元素含量的萬分比來獲得最終的純度。金屬元素的檢驗(yàn)首要應(yīng)用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法來開展檢測(cè)。而有機(jī)雜質(zhì)和氧，則通過低溫超導(dǎo)傅里葉變換核磁共振來檢測(cè)。

　　電子級(jí)三甲基鋁形態(tài)表現(xiàn)為無色液態(tài)，含有明顯刺激氣味。如果與人體直接接觸，會(huì)對(duì)皮膚、研究呼吸系統(tǒng)產(chǎn)生明顯的刺激和腐蝕作用。因?yàn)槭歉呶Ｒ兹嘉ｋU(xiǎn)化學(xué)品，因此三甲基鋁的存儲(chǔ)貨運(yùn)，都需用獨(dú)特的鋼瓶罐體來包裝存放。